Solov'yanov, A. A.; Beletskaya, I. P.; Reutov, O. A., Journal of Organic Chemistry USSR (English Translation), 1983, vol. 19, p. 1592 - 1603
作者:Solov'yanov, A. A.、Beletskaya, I. P.、Reutov, O. A.
DOI:——
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[EN] NOVEL OXIMESTER DERIVATIVE COMPOUND, AND PHOTOPOLYMERIZATION INITIATOR AND PHOTORESIST COMPOSITION CONTAINING SAME<br/>[FR] NOUVEAU COMPOSÉ DE TYPE DÉRIVÉ D'OXIMESTER, INITIATEUR DE PHOTOPOLYMÉRISATION ET COMPOSITION DE PHOTORÉSERVE LE CONTENANT<br/>[KO] 신규한 옥심에스테르 유도체 화합물 및 이를 포함하는 광중합 개시제 및 포토레지스트 조성물
申请人:KOREA RES INST CHEM TECH
公开号:WO2016126070A1
公开(公告)日:2016-08-11
본 발명은 신규한 옥심에스테르 유도체 화합물, 이를 포함하는 광중합 개시제 및 포토레지스트 조성물에 관한 것으로, 상세하게 본 발명에 따른 옥심에스테르 유도체 화합물은 감도, 내열성, 내광성, 내화학성 및 내현상성이 우수하여 소량의 사용으로도 TFT-LCD 제조 공정 중의 노광 및 포스트베이크 공정 등에 효과적인 광중합 개시제 및 포토레지스트 조성물을 제공할 수 있다.