【課題】良好なラインエッジラフネス(LER)でレジストパターンを製造することができる樹脂及びレジスト組成物を提供することを目的とする。【解決手段】式(I)で表される化合物及びこの化合物に由来する構造単位を含む樹脂。[式中、R1は、水素原子又はメチル基を表す。R2は、炭素数1〜6のアルキル基を表す。L1は、単結合又は炭素数1〜3のアルカンジイル基を表す。L2は、炭素数1〜3のアルカンジイル基を表す。Arは、炭素数6〜36の2価の芳香族炭化水素基を表す。R3は、炭素数1〜12のアルキル基を表し、該アルキル基に含まれる−CH2−は、−O−又は−CO−に置き換わっていてもよい。A1は、単結合又は炭素数1〜24の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる−CH2−は、−O−又は−CO−に置き換わっていてもよい。]【選択図】なし
本发明旨在提供一种
树脂和光刻胶组合物,可用于制造具有良好线条边缘粗糙度(LER)的光刻图案。解决方案包括含有由式(I)表示的化合物及其衍生的结构单元的
树脂。【式中,R1表示氢原子或甲基基团。R2表示碳数为1〜6的烷基基团。L1表示单键或碳数为1〜3的脂肪二烯基团。
L2表示碳数为1〜3的脂肪二烯基团。Ar表示碳数为6〜36的二价芳香族烃基。R3表示碳数为1〜12的烷基基团,其中包含的-
CH2-可被替换为-O-或-CO-。A1表示单键或碳数为1〜24的二价饱和烃基,其中包含的- -可被替换为-O-或-CO-。】【选择图】无