Processing of highly oriented lithium tantalate films by chemical solution deposition
摘要:
研究了用化学溶液沉积法合成钽酸锂薄膜的方法。前驱体溶液由乙醇溶解乙醇锂和五氧化二钽制备而成。在该前驱体溶液中加入甲酸能非常有效地通过旋涂法在基底上制备出均匀透明的前驱体薄膜。钽酸锂薄膜在蓝宝石(001)基底上结晶,在 450 °C 以上的温度下进行热处理时,沿 c 轴的取向非常优选。550 °C 时制备的薄膜折射率为 2.049,接近钽酸锂单晶体的折射率(2.176)。