摘要:
本发明公开一种含氟光致产酸剂,涉及光敏树脂合成技术领域,含氟光致产酸剂包括结构式E、结构式F所示的化合物中的一种或两种,或所述含氟光致产酸剂的结构式为结构式E或结构式F如下:本发明还提供上述本发明的含氟光致产酸剂的制备方法及应用。本发明的有益效果在于:本发明的含氟光致产酸剂及其光敏树脂在193nm处具有低吸收,较高的光学透明性;具有较高的热稳定性能。将产酸剂接枝到聚合物主链上与其他功能性的单体进行共聚,可以有效的降低相分离,防止产酸剂产生的H+向未曝光区域扩散,降低LER,提高感光度和分辨率,同时也具有较低的气体排放的优点。