申请人:OCG Microelectronic Materials Inc.
公开号:EP0659781A2
公开(公告)日:1995-06-28
Beschrieben werden neue Maleinimidcopolymere, die neben Struktureinheiten, die sich von bestimmten, in der vorliegenden Patentanmeldung näher definierten Maleinimidderivaten ableiten, wiederkehrende Struktureinheiten ausgewählt aus den Struktureinheiten der Formeln (la) und (Ib)
enthalten, wobei in den Formeln (la) und (Ib)
A eine direkte Einfachbindung oder eine zweiwertige Gruppe der Formel -O- bedeutet ;
Ro und R1 unabhängig voneinander jeweils ein Wasserstoffatom, eine C1-C6-Alkylgruppe oder eine Arylgruppe mit 6 bis 14 Ringkohlenstoffatomen darstellen ;
R2 einen Rest der Formel
darstellt, worin R für einen tert.-Alkylrest mit 4 bis 19 Kohlenstoffatomen,
[T] für eine C1-C6-Alkylengruppe oder für eine Arylengruppe mit 6 bis 14 Ringkohlenstoffatomen und p für eine der Zahlen 2,3 oder 4 stehen ; oder
A zusammen mit R2 eine Gruppe der Formel
darstellt, wobei weiterhin
R3 sowie R4 unabhängig voneinander jeweils ein Wasserstoffatom, ein Halogenatom, eine C1-C6-Alkylgruppe oder eine C1-C6-Alkoxygruppe darstellen und die weiteren Reste spezifische in der vorliegenden Anmeldung näher definierte Bedeutungen haben. Die Polymere können die Basis von chemisch verstärkten Positivphotoresists bilden, die unter anderem ausgezeichnetes Kontrastverhalten, eine geringe Schrumpfungstendenz an den bestrahlten Partien und keine nennenswerten delay time-Effekte zeigen.
所述的新型马来酰亚胺共聚物除了含有本专利申请中更详细定义的某些马来酰亚胺衍生物的结构单元外,还含有选自式(la)和(Ib)结构单元的重复结构单元
式(la)和(Ib)中
A 表示直接单键或式 -O- 的二价基团;
Ro 和 R1 各自独立地代表氢原子、C1-C6 烷基或具有 6 至 14 个环碳原子的芳基;
R2 是式
其中 R 代表具有 4 至 19 个碳原子的叔烷基、
[T] 代表具有 6 至 14 个环碳原子的 C1-C6 烯基或芳基,p 代表数字 2、3 或 4 之一;或
A 与 R2 一起代表式中的一个基团
其中
R3 和 R4 各自独立地代表氢原子、卤素原子、C1-C6-烷基或 C1-C6- 烷氧基,其他基团的具体含义在本申请中有更详细的定义。这些聚合物可以构成化学放大正向光刻胶的基础,除其他外,这些光刻胶具有优异的对比度,在辐照区域具有较低的收缩趋势,并且没有明显的延迟时间效应。