申请人:DUKSAN TECHOPIA CO., LTD. (주)덕산테코피아(120060421328) Corp. No ▼ 230111-0120607BRN ▼620-81-24727
公开号:KR20190045648A
公开(公告)日:2019-05-03
본 발명은 지르코늄 유기금속화합물 및 그 제조방법에 관한 것으로 더욱 상세하게는 화학 기상 증착법 또는 원자층 증착법에 적용 가능하고 열적 및 화학적으로 안정한 지르코늄 유기금속화합물 및 그의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따르는 지르코늄 유기금속화합물은 열안정성이 우수하고 높은 휘발성을 가지기 때문에 차세대 반도체와 같은 장치 제조에 요구되는 우수한 박막 제조에 사용될 수 있으며, 제조공정의 신뢰도 및 효율성을 높일 수 있다.
本发明涉及锆有机金属化合物及其制备方法,更详细地说,涉及具有热化学稳定性并可应用于化学气相沉积法或原子层沉积法的锆有机金属化合物及其制备方法。根据本发明的锆有机金属化合物具有优异的热稳定性和高挥发性,可用于制造下一代半导体等设备所需的优秀薄膜制备,可提高制造工艺的可靠性和效率。