4-(1-Ethoxyethoxy)-2,3,5,6-tetrafluorophenylmaleimide | 488728-70-7

• 分子结构分类: 有机化合物 - 有机杂环化合物 - 吡咯啉
• 英文名称: 4-(1-Ethoxyethoxy)-2,3,5,6-tetrafluorophenylmaleimide
• 英文别名: 1-[4-(1-Ethoxyethoxy)-2,3,5,6-tetrafluorophenyl]pyrrole-2,5-dione
• CAS: 488728-70-7
• 化学式: C₁₄H₁₁F₄NO₄
• 分子量: 333.239
• InChiKey: NTTKKGDHVMYICK-UHFFFAOYSA-N

计算性质

• 辛醇/水分配系数(LogP)：
  2.2
• 重原子数：
  23
• 可旋转键数：
  5
• 环数：
  2.0
• sp3杂化的碳原子比例：
  0.29
• 拓扑面积：
  55.8
• 氢给体数：
  0
• 氢受体数：
  8

反应信息

• 作为产物：
  描述：

  2,3,5,6-tetrafluoro-4-hydroxyphenylmaleimide 、 4-甲基苯磺酸吡啶 、 乙烯基乙醚 以 二氯甲烷 为溶剂， 以73%的产率得到4-(1-Ethoxyethoxy)-2,3,5,6-tetrafluorophenylmaleimide
  参考文献：
  名称：

  Fluorine-containing phenylmaleimide derivative, polymer, chemically amplified resist composition, and method for pattern formation using the composition

  摘要：

  一种具有特定结构的含氟苯基马来酰亚胺衍生物。通过聚合含有该衍生物的单体得到的聚合物。该聚合物含有特定的结构单元，其重均分子量为2,000至200,000。一种化学放大型光刻胶组合物，包含上述聚合物和光酸发生剂，其中聚合物相对于总聚合物和光酸发生剂的质量比为70至99.8%。一种图形形成方法，包括在待加工基板上涂覆上述组合物，使用180纳米或更短波长的光进行曝光，然后进行烘烤和显影。

  公开号：

  US06746722B2

文献信息

• US6746722B2
  申请人：——

  公开号：US6746722B2

  公开（公告）日：2004-06-08
• Fluorine-containing phenylmaleimide derivative, polymer, chemically amplified resist composition, and method for pattern formation using the composition
  申请人：NEC Corporation

  公开号：US06746722B2

  公开（公告）日：2004-06-08

  A fluorine-containing phenylmaleimide derivative having a specific structure. A polymer obtained by polymerizing monomers containing the derivative. A polymer containing a specific structural unit and having a weight-average molecular weight of 2,000 to 200,000. A chemically amplified resist composition containing the polymer and a photo acid generator, wherein the proportion of the polymer relative to the total of the polymer and the photo acid generator is 70 to 99.8% by mass. A method for pattern formation, which comprises coating the above composition on a to-be-processed substrate, exposing with a light of 180 nm or less wavelength, and conducting baking and development.

  一种具有特定结构的含氟苯基马来酰亚胺衍生物。通过聚合含有该衍生物的单体得到的聚合物。该聚合物含有特定的结构单元，其重均分子量为2,000至200,000。一种化学放大型光刻胶组合物，包含上述聚合物和光酸发生剂，其中聚合物相对于总聚合物和光酸发生剂的质量比为70至99.8%。一种图形形成方法，包括在待加工基板上涂覆上述组合物，使用180纳米或更短波长的光进行曝光，然后进行烘烤和显影。