하기 화학식 1로 표현되는 화합물, 상기 화합물을 포함하는 하드마스크 조성물, 상기 하드마스크 조성물의 경화물을 포함하는 하드마스크 층 및 상기 하드마스크 조성물을 사용하는 패턴형성방법에 관한 것이다. [화학식 1] 상기 화학식 1에서, Z, L, A 및 R 내지 R의 정의는 명세서에 기재된 바와 같다.
这是关于
化学式为1的化合物,包含该化合物的硬质面罩组合物,包含硬质面罩组合物的固化物硬质面罩层以及使用该硬质面罩组合物的图案形成方法。 在
化学式1中,Z,L,A和R到R的定义如说明书中所述。