我们报告了 Si0.50Ge0.50、Si0.33Ge0.67、Si0.25Ge0.75 和 Si0.20Ge0.80 合
金在 Si(100) 上使用重单源快速低温 (300–470°C) 生长
氢化物分子化合物 (H3Ge)nSiH4−n (n=1–4)。将这些前体的整个 SiGe、SiGe2、SiGe3 和 SiGe4 框架结合到薄膜中,可以精确控制形态、成分和应变。低能电子显微镜分析表明 (H3Ge)xSiH4−x (x=2-4) 物种具有高反应性,尽管其分子结构中存在强 Si-H 键,但 H2 解吸特性与
Ge2H6 相当.