摘要:
研究人员对利用原子层沉积(ALD)技术生产的铜薄膜的特性进行了表征。研究人员考察了生长在玻璃上的这些薄膜以及生长在硅晶片上的 Ta、TiN 和 TaN 薄膜的成分、形态和电气特性。厚度大于 60 nm 的薄膜的电阻率接近块体值。薄膜的沉积采用两步 ALD 工艺,第一步引入铜(II)-1,1,1,5,5,5,-六氟乙酰丙酮水合物和水蒸气,第二步引入还原剂。对五种还原剂进行了评估,其中使用异丙醇或福尔马林的效果最好。异丙醇的最佳沉积温度约为 260 ℃,而福尔马林的最佳沉积温度约为 300 ℃。研究人员还将这些薄膜作为种子层,用于电沉积更厚的铜层,以实现可能的互连应用。结果表明,这些薄膜在高纵横比沟槽中的填充效果极佳。