摘要:
本发明涉及一种具有高显影性能的光酸发生剂,具有高固化性能的阳离子聚合引发剂,以及包含光酸发生剂和阳离子聚合引发剂的抗蚀剂组合物和阳离子聚合组合物。具体地,本发明涉及一种通式(I)的芳香基磺酸盐化合物和光酸发生剂、阳离子聚合引发剂、抗蚀剂组合物和阳离子聚合组合物,其中化合物的R1至R19分别为氢、卤素、羟基、可选的羟基取代的C1-C18烷基、可选的羟基取代的C1-C18烷氧基、可选的羟基取代的C1-C18硫代烷氧基等;An−是一价阴离子;R1至R19中至少有一个是从羟基、羟基取代的C1-C12酯基、羟基取代的C1-C18烷氧基和羟基取代的C1-C18硫代烷氧基组成的取代基。