申请人:LEE, Youn Tek 이윤택(420120335811)
公开号:KR20160002328U
公开(公告)日:2016-07-05
본 고안은, a. 기판에 금속층 구비 그 이후, b. 에칭 가스 및 탄소-포함 가스를 공급하고 상압 화학기상증착(Atmospheric Pressure Chemical Vapor Deposition, APCVD)를 수행하되, c. 상기 에칭 가스 공급에서 탄소-포함 가스를 같이 공급하여, 상기 금속층 상에서 그래핀이 성장하며, d. 상기 c 의 공정에서, 계속적인 상압 화학기상증착(Atmospheric Pressure Chemical Vapor Deposition, APCVD)를 수행하되, 에칭 가스로 인하여, 금속층의 금속이 계속적으로 전부 제거되어, 금속층을 포함하지 않은 상태로 기판상에 그래핀을 성장시키는 것; 을 특징으로 하는 기판 성장 그래핀의 제조방법을 제공한다. 또한, 본 고안은 기판 성장 그래핀으로써, 상기 기판 성장 그래핀은, 상기 기판의 표면에 직접 접하고, 상기 기판 성장 그래핀의 상기 표면에 평행한 제1의 방향에 있어서의 결정립경은, 해당 기판 성장 그래핀의 해당 표면에 평행한 다른 어느 하나의 방향에 있어서의 결정립경보다 크고, 상기 기판 성장 그래핀의 상기 제1의 방향에 있어서의 결정립경은, 해당 그래핀의 해당 표면에 수직인 방향에 있어서의 결정립경보다 큰 것; 을 특징으로 하는 기판 성장 그래핀을 제공한다. 또한, 본 고안은 기판 성장 그래핀으로써, 해당 기판 성장 그래핀은, 상기 기판의 표면에 직접 접하고, 해당 기판 성장 그래핀은, 상기 표면에 평행한 제1의 방향에 따른 결정립계를 가지며, 해당 기판 성장 그래핀은, 상기 표면에 평행한 제2의 방향에 따른 결정립계를 가지며, 해당 기판 성장 그래핀은, 상기 결정립계에 둘러싸인 영역의 내부에 있어서 단결정인 것; 을 특징으로 하는 기판 성장 그래핀을 제공한다. 또한, 본 고안은 기판 성장 그래핀으로써, 해당 기판 성장 그래핀은, 상기 기판의 표면에 직접 접하고, 해당 기판 성장 그래핀은, 상기 표면에 평행한 제1의 방향에 따른 결정립계를 복수 가지며, 해당 기판 성장 그래핀은, 상기 표면에 평행한 제2의 방향에 따른 결정립계를 복수 가지며, 해당 기판 성장 그래핀은, 상기 결정립계에 둘러싸인 영역의 내부 각각에 있어서 단결정인 것; 을 특징으로 하는 기판 성장 그래핀을 제공한다.
本发明提供了一种在基板上生长石墨烯的方法,其特征在于:a. 在基板上提供金属层;b. 供应蚀刻气体和含碳气体,并执行常压化学气相沉积(APCVD);c. 在蚀刻气体供应中同时供应含碳气体,在金属层上生长石墨烯;d. 在上述c的工艺中,连续执行常压化学气相沉积(APCVD),由于蚀刻气体的作用,金属层的金属不断被完全去除,从而在不含金属层的状态下在基板上生长石墨烯。此外,本发明还提供了一种基板生长石墨烯,该基板生长石墨烯直接接触基板表面,在第一方向上的晶粒边界大于在另一任何平行方向上的晶粒边界,并且第一方向上的晶粒边界大于在垂直方向上的晶粒边界。本发明还提供了一种基板生长石墨烯,该基板生长石墨烯直接接触基板表面,具有与表面平行的第一方向的晶粒边界,具有与表面平行的第二方向的晶粒边界,并且在围绕晶粒边界的区域内是单晶的。此外,本发明还提供了一种基板生长石墨烯,该基板生长石墨烯直接接触基板表面,具有多个与表面平行的第一方向的晶粒边界,具有多个与表面平行的第二方向的晶粒边界,并且在围绕晶粒边界的每个区域内是单晶的。