This is the Chinese translation of the text you provided:
本发明提供了一种新的镍前体和含镍薄膜沉积方法。沉积方法涉及将含镍前体引入设置有一个或多个基板的反应器内部的步骤;以及在至少部分地在一个或多个基板上沉积含镍前体以形成含镍薄膜的步骤。此外,所述方法具有在温和条件下高产率地获得镍-双酮亚胺酸盐前体的热稳定性和含镍薄膜的特点。
Giemser,O.; von Halasz,S.P., Chemische Berichte, 1969, vol. 102, p. 3333 - 3341
作者:Giemser,O.、von Halasz,S.P.
DOI:——
日期:——
Glemser, O.; Halasz, S. P. von, Chemische Berichte, 1969, vol. 102, p. 3333 - 3341
作者:Glemser, O.、Halasz, S. P. von
DOI:——
日期:——
Fluorimines
作者:W. J. Middleton、C. G. Krespan
DOI:10.1021/jo01016a012
日期:1965.5
신규 니켈-비스베타케토이미네이트 전구체 및 이를 이용한 니켈 함유 필름 증착방법
申请人:MICROCHEM INC., (주)마이크로켐(120040007774) Corp. No ▼ 154511-0018039BRN ▼303-81-26607
公开号:KR20160062675A
公开(公告)日:2016-06-02
본 발명은 신규한 니켈 전구체 및 니켈 함유 필름 증착방법을 제공한다. 증착방법은 내부에 하나 이상의 기판이 배치되어 있는 반응기 안으로, 니켈 함유 전구체를 도입시키는 단계; 및 니켈 함유 전구체의 적어도 일부를 하나 이상의 기판상에 증착시켜 니켈 함유 필름을 형성시키는 단계를 포함하는 기판 상에 니켈 함유 필름을 증착시키는 방법에 관한 것이다. 또한 상기 방법은 열적 안정성 및 니켈 함유 필름을 온화한 조건에서 높은 수율로 얻을 수 있는 신규한 니켈-비스베타케토이미네이트 전구체에 특징이 있다.
This is the Chinese translation of the text you provided:
本发明提供了一种新的镍前体和含镍薄膜沉积方法。沉积方法涉及将含镍前体引入设置有一个或多个基板的反应器内部的步骤;以及在至少部分地在一个或多个基板上沉积含镍前体以形成含镍薄膜的步骤。此外,所述方法具有在温和条件下高产率地获得镍-双酮亚胺酸盐前体的热稳定性和含镍薄膜的特点。