[EN] GROUP 4 TRANSITION METAL COMPOUND, METHOD FOR PREPARING SAME AND METHOD FOR FORMING THIN FILM USING SAME<br/>[FR] COMPOSÉ DE MÉTAL DE TRANSITION DU GROUPE 4, PROCÉDÉ DE PRÉPARATION D'UN TEL COMPOSÉ ET PROCÉDÉ DE FORMATION D'UN FILM MINCE METTANT EN ŒUVRE UN TEL COMPOSÉ<br/>[KO] 4족 전이금속 화합물, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법
申请人:KOREA RES INST CHEMICAL TECH
公开号:WO2020116770A1
公开(公告)日:2020-06-11
본 발명은 4족 전이금속 화합물, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 4족 전이금속 화합물은 열적으로 안정하고 휘발성이 우수하고 저장안정성이 높아, 이를 전구체로 이용하여 고밀도 및 고순도의 4족 전이금속함유 박막 및 이의 제조방법을 제공할 수 있다.