(tert-pentylimido)trichlorodipyridinetantalum

• 分子结构分类: 有机化合物 - 有机杂环化合物 - 吡啶及其衍生物
• 英文名称: (tert-pentylimido)trichlorodipyridinetantalum
• 英文别名: Pyridine;trichloro(2-methylbutan-2-ylimino)tantalum；pyridine;trichloro(2-methylbutan-2-ylimino)tantalum
• 化学式: C₁₅H₂₁Cl₃N₃Ta
• 分子量: 530.659
• InChiKey: IWDWYGXFQASPLC-UHFFFAOYSA-K

计算性质

• 辛醇/水分配系数(LogP)：
  6.14
• 重原子数：
  22
• 可旋转键数：
  2
• 环数：
  2.0
• sp3杂化的碳原子比例：
  0.33
• 拓扑面积：
  38.1
• 氢给体数：
  0
• 氢受体数：
  3

反应信息

• 作为反应物：
  描述：

  (tert-pentylimido)trichlorodipyridinetantalum 、 lithium tert-butoxide 以 正己烷 、 甲苯 为溶剂， 反应 6.0h， 生成 (tert-pentylimido)tri(tert-butoxo)tantalum
  参考文献：
  名称：

  IMIDE COMPLEX, METHOD FOR PRODUCING THE SAME, METAL-CONTAINING THIN FILM AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME

  摘要：

  公开号：

  EP2058295B1
• 作为产物：
  描述：

  吡啶 、 叔戊基胺 、 五氯化钽 在 三甲基氯硅烷 作用下， 以 甲苯 为溶剂， 反应 13.25h， 生成 (tert-pentylimido)trichlorodipyridinetantalum
  参考文献：
  名称：

  ORGANOMETALLIC COMPOUNDS AND THIN FILM USING SAME

  摘要：

  根据本发明的有机金属化合物和使用该化合物制造的薄膜，可以满足高挥发性和优异的化学/热稳定性要求，即使在低温下也表现出显著提高的薄膜沉积速率。此外，由副产物引起的性能退化可以得到改善，可以实现优异的阶梯覆盖，并且可以实现具有高介电常数的薄膜，电学上满足等效氧化物厚度（EOT）要求，同时具有不会发生隧穿的厚度。

  公开号：

  US20200407380A1

文献信息

• 유기금속화합물 및 이를 이용한 박막
  申请人：MECARO CO.,LTD. 주식회사 메카로(120000534125) Corp. No ▼ 120111-0233338BRN ▼131-81-59560

  公开号：KR102015283B1

  公开（公告）日：2019-08-28

  본 발명의 유기금속화합물 및 이를 이용한 박막은 높은 휘발성, 우수한 화학적・열적 안정성을 만족함과 동시에 낮은 온도에서도 현저히 향상된 박막 증착 속도를 가진다. 또한, 부산물에 의한 특성 저하가 개선되고, 단차 피복성이 우수하며, 고 유전율을 가져 전기적으로는 등가 산화막 두께(EOT)를 가지면서 물리적으로는 터널링이 일어나지 않는 두께의 박막을 구현할 수 있다.

  本发明的有机金属化合物及其用于薄膜的，具有高挥发性、优异的化学和热稳定性，同时在低温下也具有明显提高的薄膜沉积速度。此外，通过副产物的特性改善，具有优秀的平整覆盖性，并具有高介电常数，电学上等效氧化膜厚度（EOT），同时可以实现物理上不会发生隧道现象的薄膜厚度。