Synthesis, characterization of silicon(<scp>iv</scp>) compounds containing 2-alkyl-aminopyridine ligands and evaluation of them as CVD precursors
作者:Liyong Du、Wenxiang Chu、Chongying Xu、Hongyan Miao、Yuqiang Ding
DOI:10.1039/c5ra07045g
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A family of silicon(IV) compounds, where the Si centers of trimethylsilyl (–SiMe3) are linked with 2-alkyl-aminopyridine ligands, has been synthesized by reaction of the corresponding lithium salt of these ligands and SiMe3Cl in a general procedure. They were characterized by 1H NMR, 13C NMR, 29Si NMR, EI-MS and elemental analysis where necessary. Thereinto, 29Si NMR and the synthesis of 2-N,N-bis
通常,通过将这些配体的相应锂盐与SiMe 3 Cl反应,合成了硅化合物(IV),其中三甲基甲硅烷基(–SiMe 3)的Si中心与2-烷基-氨基吡啶配体连接。程序。它们的特征在于1 H NMR,13 C NMR,29 Si NMR,EI-MS和必要时的元素分析。其中,29 Si NMR与2- N,N的合成获得了双(三甲基甲硅烷基)氨基吡啶,以确认它们的配位结构。重要的是,首次讨论了对这些含有2-氨基吡啶酸盐作为CVD前体的硅化合物的评估。通过同时热分析(STA)评估热稳定性,运输行为和蒸气压。化学气相沉积是在热壁CVD反应器系统中完成的,定性地证明了它们作为CVD前体的能力。