Mehrfunktionelle Tertiäralkohole, Verfahren zu deren Herstellung und ihre Verwendung für Precursoren zur Auftragung von Erdalkalimetalloxiden nach dem Verfahren der chemical vapour deposition
申请人:HOECHST AKTIENGESELLSCHAFT
公开号:EP0596458A1
公开(公告)日:1994-05-11
Mehrfunktionelle Tertiäralkohole, Verfahren zu deren Herstellung und ihre Verwendung für Precursoren zur Auftragung von Erdalkalimetalloxiden nach dem Verfahren der chemical vapor deposition.
Die Erfindung betrifft mehrfunktionelle Tertiäralkohole, die als Precursoren für die Auftragung von Metalloxiden nach dem Verfahren der chemical vapor deposition geeignet sind. Sie besitzen die allgemeine chemische Formel:
in der
t-A eine tertiäre Alkylgruppe wie t-Butyl, t-Amyl-, t-Hexyl- oder t-Heptyl-;
R1 und R2 einen geradkettigen oder verzweigten Alkylrest mit 1 bis 7 C-Atomen oder die Gruppe -[(CH2)-nO-]mR5 in der n und m unabhängig voneinander eine ganze Zahl von 1 bis 3 und R5 eine geradkettige oder verzweigte Alkylgruppe mit 1 bis 5 C-Atomen bedeuten,
R3 und R4 einen geradkettigen oder verzweigten Alkylenrest mit 1 bis 4 C-Atomen; und
X eine heteroatomhaltige Gruppe wie -O-, >N-CH3, >N-C2Hs oder>N-C3H7 bedeuten.
Die Erfindung betrifft auch flüchtige Komplexe von Erdalkalimetallen mit den mehrfunktionellen Tertiäralkoholen.
多官能团叔醇、其制备工艺及其用作通过化学气相沉积工艺应用碱土金属氧化物的前体。
本发明涉及适用于通过化学气相沉积工艺应用金属氧化物的前体的多官能团叔醇。它们的化学通式为
其中
t-A 是叔烷基,如叔丁基、叔戊基、叔己基或叔庚基;
R1 和 R2 是具有 1 至 7 个碳原子的直链或支链烷基,或基团-[(CH2)-nO-]mR5,其中 n 和 m 互不相关,均为 1 至 3 的整数,R5 是具有 1 至 5 个碳原子的直链或支链烷基、
R3 和 R4 是具有 1 至 4 个碳原子的直链或支链亚烷基;以及
X 是含杂原子的基团,如 -O-、>N-CH3、>N-C2Hs 或 >N-C3H7。
本发明还涉及碱土金属与多官能团叔醇的挥发性络合物。