triphenylsulfonium 1,1-difluoro-2-(4-vinyl-benzoyloxy)-ethane-1-sulfonate | 1222482-86-1

• 分子结构分类: 有机化合物 - 苯类化合物 - 苯和取代衍生物
• 英文名称: triphenylsulfonium 1,1-difluoro-2-(4-vinyl-benzoyloxy)-ethane-1-sulfonate
• 英文别名: Triphenylsulfonium 1,1-difluoro-2-(4-vinyl-benzoyloxy)-ethane-1-sulfonate；2-(4-ethenylbenzoyl)oxy-1,1-difluoroethanesulfonate;triphenylsulfanium
• CAS: 1222482-86-1
• 化学式: C₁₁H₉F₂O₅S*C₁₈H₁₅S
• 分子量: 554.635
• InChiKey: QVDVLFCBHFBSSS-UHFFFAOYSA-M

计算性质

• 辛醇/水分配系数(LogP)：
  6.41
• 重原子数：
  38
• 可旋转键数：
  8
• 环数：
  4.0
• sp3杂化的碳原子比例：
  0.07
• 拓扑面积：
  92.9
• 氢给体数：
  0
• 氢受体数：
  7

反应信息

• 作为产物：
  描述：

  草酰氯 、 2-hydroxy-1,1-difluoroethanesulfonic acid triphenylsulfonium 、 4-乙烯基苯甲酸 、 4-乙烯基苯甲酰氯 、 4-甲基-2-戊酮 在 盐酸 、 N,N-dimethylamino-pyridine 、 三乙胺 作用下， 以 二氯甲烷 、 异丙醚 、 甲苯 为溶剂， 以86%的产率得到triphenylsulfonium 1,1-difluoro-2-(4-vinyl-benzoyloxy)-ethane-1-sulfonate
  参考文献：
  名称：

  POLYMERIZABLE ANION-CONTAINING SULFONIUM SALT AND POLYMER, RESIST COMPOSITION, AND PATTERNING PROCESS

  摘要：

  提供具有式（1）的可聚合含阴离子的亚砜盐，其中R1为H、F、甲基或三氟甲基，R2、R3和R4为C1-C10烷基、烯基或氧代烷基或C6-C18芳基、芳基烷基或芳基氧代烷基，或R2、R3和R4中的两个可以结合在一起形成与S的环，A为具有环状结构的C2-C20烃基团，n为0或1。该亚砜盐在暴露于高能辐射时生成非常强的磺酸。还提供了一种包含从该亚砜盐衍生的聚合物的抗蚀组合物。

  公开号：

  US20100099042A1

文献信息

• Polymerizable anion-containing sulfonium salt and polymer, resist composition, and patterning process
  申请人：Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.

  公开号：US08105748B2

  公开（公告）日：2012-01-31

  A polymerizable anion-containing sulfonium salt having formula (1) is provided wherein R1 is H, F, methyl or trifluoromethyl, R2, R3 and R4 are C1-C10 alkyl, alkenyl or oxoalkyl or C6-C18 aryl, aralkyl or aryloxoalkyl, or two of R2, R3 and R4 may bond together to form a ring with S, A is a C2-C20 hydrocarbon group having cyclic structure, and n is 0 or 1. The sulfonium salt generates a very strong sulfonic acid upon exposure to high-energy radiation. A resist composition comprising a polymer derived from the sulfonium salt is also provided.

  提供了一种具有式（1）的聚合可的含阴离子的硫鎓盐，其中R1为H、F、甲基或三氟甲基，R2、R3和R4为C1-C10烷基、烯基或氧代烷基或C6-C18芳基、芳基烷基或芳基氧代烷基，或者R2、R3和R4中的两个可以结合形成含S的环，A是具有环状结构的C2-C20烃基，n为0或1。该硫鎓盐在高能辐射下产生非常强的磺酸。还提供了一种包含由该硫鎓盐衍生的聚合物的抗蚀剂组合物。
• US8105748B2
  申请人：——

  公开号：US8105748B2

  公开（公告）日：2012-01-31