摘要:
3,5-(CF3)2PzLi与[Rh(μ-Cl)(η2-C2H4)2]2或[Rh(μ-Cl)(PMe3)2]2在Et2O中反应,得到双核配合物[Rh(η2-C2H4)2(μ-3、5-(CF3)2-Pz)]2(1)和[Rh2(μ-Cl)(μ-3,5-(CF3)2-Pz) (PMe3)4] (2)(3,5-(CF3)2Pz = 双三氟甲基吡唑烷)。PMe3 与 [Rh(COD)(μ-3,5-(CF3)2-Pz)]2 在甲苯中反应,得到 [Rh(3,5-(CF3)2-Pz)(PMe3)3](3)。1 和 3 在甲苯(1:4)中反应,得到中等产率的双核络合物 [Rh(PMe3)2(μ-3,5-(CF3)2-Pz)]2 (4)。3,5-(CF3)2PzLi 与[Rh(PMe3)4]Cl 在 Et2O 中反应生成了离子配合物 [Rh(PMe3)4][3,5-(CF3)2-Pz](5)。研究人员将其中的两种复合物 1 和 3 用作 CVD 前驱体。在热壁反应器中,以 Ar 为载气(5 cc min-1),分别在 170 和 130 °C、0.3 mmHg 的温度下,由 1 和 3 生长出铑(fcc-Rh)的多晶薄膜和磷化铑(Rh2P)的非晶薄膜。在热壁反应器中,以 H2 为载气(7 cc min-1),分别在 170 和 130 ℃、0.3 mmHg 下从 1 和 3 生长出无定形铑和磷化铑 (Rh2P) 薄膜。