Ethyl 1-ethylcyclopentyl oxalate | 677775-90-5

• 分子结构分类: 有机化合物 - 有机酸及其衍生物 - 羧酸及其衍生物
• 英文名称: Ethyl 1-ethylcyclopentyl oxalate
• 英文别名: 1-O-ethyl 2-O-(1-ethylcyclopentyl) oxalate
• CAS: 677775-90-5
• 化学式: C₁₁H₁₈O₄
• 分子量: 214.26
• InChiKey: VSQUTVFCAVFGHW-UHFFFAOYSA-N

物化性质

• 沸点：
  268.6±7.0 °C(Predicted)
• 密度：
  1.07±0.1 g/cm3(Predicted)

计算性质

• 辛醇/水分配系数(LogP)：
  2.7
• 重原子数：
  15
• 可旋转键数：
  6
• 环数：
  1.0
• sp3杂化的碳原子比例：
  0.82
• 拓扑面积：
  52.6
• 氢给体数：
  0
• 氢受体数：
  4

文献信息

• Polymerizable silicon-containing compound, manufacturing method, polymer, resist composition and patterning process
  申请人：——

  公开号：US20040067436A1

  公开（公告）日：2004-04-08

  Polymerizable silicon-containing compounds of formula (1) wherein R 1 is hydrogen, halogen or monovalent organic group are polymerized into polymers. A resist composition comprising the polymer as a base resin is sensitive to high-energy radiation, has excellent sensitivity and resolution at a wavelength of less than 300 nm, and high resistance to oxygen plasma etching, and thus lends itself to micropatterning for the fabrication of VLSIs. 1

  公式（1）中R1为氢、卤素或一价有机基团的可聚合硅含量化合物可以聚合成聚合物。以该聚合物为基础树脂的抗蚀剂组合物对高能辐射敏感，在小于300纳米的波长下具有优异的灵敏度和分辨率，同时具有高抗氧等离子体刻蚀性能，因此适用于微图案制造VLSI。
• US7192684B2
  申请人：——

  公开号：US7192684B2

  公开（公告）日：2007-03-20