of base; however, excessive diffusion of generated base molecules is still a problem. We have designed novel functional silicone resins bearing both base‐amplifying units and photobase‐generating units, and synthesized resins with various composition ratios. The synthesized resins are decomposed autocatalytically after UV irradiation and subsequent heating at 100 °C, which indicates progression of base‐proliferation
为了实现包括光碱产生剂在内的抗蚀剂系统的高光敏性,我们提出了碱扩散反应的概念,该反应通过催化量的碱的作用以非线性方式产生碱分子。然而,产生的基础分子的过度扩散仍然是一个问题。我们设计了同时带有碱放大单元和光碱生成单元的新型功能性有机
硅树脂,并合成了具有不同组成比的
树脂。合成
树脂在紫外线照射后随后在100°C加热后会自动催化分解,这表明碱扩散反应的进程。高感光度(8.1 mJ cm -2)被记录下来,发现通过用碱扩散反应体系代替碱催化反应体系,光敏性提高了约490倍。此外,已经成功地使用有机
硅树脂制造了4×10 µm的线和间隔图案。©2015 Wiley Periodicals,Inc. J. Polym。科学,A部分:Polym。
化学 2015,53,1205年至1212年