Filmbildende, funktionalisierte Polymere mit 1,2-Dicarbonsäurehalbester-Gruppierungen weisen mindestens zwei Polymerbausteine auf, von denen der eine säurelabil und hydrolysestabil und der andere thermisch stabil ist. Diese Polymeren finden insbesondere in Photoresists Verwendung.
具有 1,2-二
羧酸半酯基团的成膜官能化聚合物至少有两个聚合物结构单元,其中一个具有酸亲和性和
水解稳定性,另一个具有热稳定性。这些聚合物尤其适用于光刻胶。