摘要:
化合物的公式为(I),(II)或(III),其中R1例如为C1-C18烷基磺酰基,C1-C10卤代烷基磺酰基,樟脑磺酰基,苯基-C1-C3烷基磺酰基,苯基磺酰基,萘基磺酰基,蒽基磺酰基,菲磺酰基或杂环芳基磺酰基,R'1例如为苯基二磺酰基,R2例如为CN,C1-C10卤代烷基或被(IV)取代的C1-C10卤代烷基;Ar1例如为苯基,可选地被公式(IV)的基团取代;Ar'1例如为苯基,可选地被公式(IV)的基团取代;A1,A2和A3独立地例如为氢,卤素,CN或C1-C18烷基;D2例如为直接键,O,(CO)O,(CO)S,SO2,OSO2或C1-C18烷基;或A3和D2一起形成C3-C30环烯基;或A2和D2与它们所附着的乙烯基双键的碳一起形成C3-C30环烷基;D3和D4例如独立地为直接键,O,S,C1-C18烷基或C3-C30环烷基,至少其中之一的基团R2,Ar1或Ar'1包含公式(IV)的基团,适用作光激发酸给体,并用于制备相应的聚合物,以用于化学增强型光刻胶。