摘要:
这项技术旨在提供一种可以制造具有良好CD均一性(CDU)的光刻胶图案的盐和光刻胶组合物。解决方案是提供由式(I)表示的盐。【式中,Q1、Q2、R1和R2分别代表氢原子、氟原子等;z为0~6的整数;X1为*−CO−O−、*−O−CO−等;W为脂环式烃基等;L1和L2分别为脂肪二烯基;R8为由式(aa1)或式(aa2)表示的基;R3、R4和R9分别为烷基、脂环式烃基等;n为0或1;R5和R6分别表示氢原子或烃基,R7表示烃基,或R6和R7结合形成复环基,其中它们与结合的碳原子和氧原子一起形成复环基;Z+表示有机阳离子。】【选择图】无