1-ethylcyclopentyl 4-(4-methoxyphenylamino)-butyrate | 1379524-52-3

• 分子结构分类: 有机化合物 - 有机酸及其衍生物 - 羧酸及其衍生物
• 英文名称: 1-ethylcyclopentyl 4-(4-methoxyphenylamino)-butyrate
• 英文别名: (1-Ethylcyclopentyl) 4-(4-methoxyanilino)butanoate
• CAS: 1379524-52-3
• 化学式: C₁₈H₂₇NO₃
• 分子量: 305.417
• InChiKey: CRCWGVWIHFADBA-UHFFFAOYSA-N

计算性质

• 辛醇/水分配系数(LogP)：
  4
• 重原子数：
  22
• 可旋转键数：
  9
• 环数：
  2.0
• sp3杂化的碳原子比例：
  0.61
• 拓扑面积：
  47.6
• 氢给体数：
  1
• 氢受体数：
  4

反应信息

• 作为产物：
  描述：

  甲氧苯胺 以73%的产率得到1-ethylcyclopentyl 4-(4-methoxyphenylamino)-butyrate
  参考文献：
  名称：

  BASIC COMPOUND, CHEMICALLY AMPLIFIED RESIST COMPOSITION, AND PATTERNING PROCESS

  摘要：

  一种化学放大型光刻胶组合物，包括基础聚合物、酸发生剂和胺淬灭剂，后者为β-丙氨酸、γ-氨基丁酸或5-氨基戊酸的衍生物，具有一个被酸不稳定基团所取代的羧基，这种组合物在曝光前后具有高对比度的碱性溶解速率，并且能够形成高分辨率、最小粗糙度和宽焦深度的良好图案轮廓。

  公开号：

  US20120141938A1

文献信息

• Basic compound, chemically amplified resist composition and patterning process
  申请人：Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.

  公开号：EP2463714A1

  公开（公告）日：2012-06-13

  A chemically amplified resist composition comprising a base polymer, an acid generator, and an amine quencher in the form of a β-alanine, γ-aminobutyric acid or 5-aminovaleric acid derivative having an acid labile group-substituted carboxyl group has a high contrast of alkaline dissolution rate before and after exposure and forms a pattern of good profile at a high resolution, minimal roughness and wide focus margin.

  一种化学放大抗蚀剂组合物由碱聚合物、酸发生器和胺淬灭剂组成，其形式为具有酸易变基团取代的羧基的β-丙氨酸、γ-氨基丁酸或 5-氨基戊酸衍生物，曝光前后的碱性溶解率对比度高，形成的图案轮廓清晰，分辨率高，粗糙度小，焦距宽。
• US8921026B2
  申请人：——

  公开号：US8921026B2

  公开（公告）日：2014-12-30