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bis(4-(tert-butyl)phenyl)iodonium 1,1-difluoro-2-((3-hydroxyadamantan-1-yl)methoxy)-2-oxoethane-1-sulfonate | 1375457-72-9

中文名称
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中文别名
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英文名称
bis(4-(tert-butyl)phenyl)iodonium 1,1-difluoro-2-((3-hydroxyadamantan-1-yl)methoxy)-2-oxoethane-1-sulfonate
英文别名
——
bis(4-(tert-butyl)phenyl)iodonium 1,1-difluoro-2-((3-hydroxyadamantan-1-yl)methoxy)-2-oxoethane-1-sulfonate化学式
CAS
1375457-72-9
化学式
C13H17F2O6S*C20H26I
mdl
——
分子量
732.668
InChiKey
RWHPBJTXTZBJSG-UHFFFAOYSA-M
BEILSTEIN
——
EINECS
——
  • 物化性质
  • 计算性质
  • ADMET
  • 安全信息
  • SDS
  • 制备方法与用途
  • 上下游信息
  • 反应信息
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  • 表征谱图
  • 同类化合物
  • 相关功能分类
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计算性质

  • 辛醇/水分配系数(LogP):
    3.41
  • 重原子数:
    43.0
  • 可旋转键数:
    6.0
  • 环数:
    6.0
  • sp3杂化的碳原子比例:
    0.61
  • 拓扑面积:
    103.73
  • 氢给体数:
    1.0
  • 氢受体数:
    6.0

反应信息

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文献信息

  • 塩、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
    申请人:住友化学株式会社
    公开号:JP2016000725A
    公开(公告)日:2016-01-07
    【課題】良好なCD均一性(CDU)又は良好なフォーカスマージン(DOF)でレジストパターンを製造することができる塩、及び該塩を含むレジスト組成物の提供。【解決手段】式(I)で表される塩。[XはO、S又は−N(SO2R5);R5はC1〜12のアルキル基、C3〜12のシクロアルキル基又はC6〜12の芳香族炭化水素基;ArはC6〜36の芳香族炭化水素基又はC6〜36のヘテロ芳香族炭化水素基;R1及びR2は各々独立に、H、OH基又はC1〜12の炭化水素基;m及びnは各々独立に1又は2;R3及びR4は各々独立に、H又はC1〜12の炭化水素基;A−は酸不安定基、塩基不安定基又はその両方を有する有機アニオン]【選択図】なし
    【课题】提供能够制造良好CD均匀性(CDU)或良好焦深(DOF)的盐以及包含该盐的感光剂组合物。 【解决方案】式(I)表示的盐。[X是O、S或-N(SO2R5);R5是C1~12的烷基、C3~12的环烷基或C6~12的芳香族碳氢基;Ar是C6~36的芳香族碳氢基或C6~36的杂芳香族碳氢基;R1和R2分别是独立地H、OH基或C1~12的碳氢基;m和n分别是独立地1或2;R3和R4分别是独立地H或C1~12的碳氢基;A-是含有酸不稳定基、盐基不稳定基或两者的有机阴离子]【选择图】无
  • SALT, ACID GENERATOR, RESIN, RESIST COMPOSITION AND METHOD FOR PRODUCING RESIST PATTERN
    申请人:SUMITOMO CHEMICAL COMPANY, LIMITED
    公开号:US20160334702A1
    公开(公告)日:2016-11-17
    A salt represented by formula (I): wherein Q 1 and Q 2 independently represent a fluorine atom or a C 1 to C 6 perfluoroalkyl group, R 1 and R 2 in each occurrence independently represent a hydrogen atom, a fluorine atom or a C 1 to C 6 perfluoroalkyl group, z represents an integer of 0 to 6, X 1 represents *—CO—O—, *—O—CO— or —O—, * represents a binding position to C(R 1 )(R 2 ) or C(Q 1 )(Q 2 ), A 1 represents a C 4 to C 24 hydrocarbon group having a C 4 to C 18 divalent alicyclic hydrocarbon moiety, A 2 represents a C 2 to C 12 divalent hydrocarbon group, R 3 and R 4 independently represent a hydrogen atom or a C 1 to C 6 monovalent saturated hydrocarbon group, R 5 represents a hydrogen atom, a fluorine atom, or a C 1 to C 6 alkyl group where a hydrogen atom may be replaced by a fluorine atom, and Z + represents an organic cation.
    公式(I)表示的盐,其中Q1和Q2独立地代表一个原子或一个C1至C6的过氟烷基团,R1和R2每次出现独立地代表一个氢原子、一个原子或一个C1至C6的过氟烷基团,z代表0到6的整数,X1代表*—CO—O—,*—O—CO—或—O—,*代表与C(R1)(R2)或C(Q1)(Q2)的连接位置,A1代表具有C4至C18二价脂环烃基团的C4至C24的烃基团,A2代表C2至C12的二价烃基团,R3和R4独立地代表一个氢原子或一个C1至C6的一价饱和烃基团,R5代表一个氢原子、一个原子或一个C1至C6的烷基团,其中氢原子可以被原子替换,而Z+代表一个有机阳离子。
  • 化合物、酸発生剤、樹脂、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
    申请人:住友化学株式会社
    公开号:JP2016210769A
    公开(公告)日:2016-12-15
    【課題】優れたラインエッジラフネスのレジストパターンを製造することができる化合物、レジスト組成物に用いる樹脂及びレジスト組成物を提供することを目的とする。【解決手段】式(I)で表される化合物、この化合物に由来する樹脂、この化合物を含む酸発生剤及びこれらを含むレジスト組成物。[式中、Q1及びQ2はそれぞれフッ素原子又はペルフルオロアルキル基;R1及びR2はそれぞれ水素原子、フッ素原子又はペルフルオロアルキル基;zは0〜6の整数;X1は、*−CO−O−、*−O−CO−等;A1は2価の脂環式炭化水素基含有炭化水素基;A2は2価の炭化水素基;R3及びR4はそれぞれ、水素原子又は飽和炭化水素基;R5は、ハロゲン原子を有してもよいアルキル基等;R6は、置換基を有してもよい芳香族炭化水素基;R7は、置換基を有してもよい炭化水素基又はシアノ基等を表す。]【選択図】なし
    【课题】提供能够制造出优良线边缘粗糙度图案的化合物、用于光刻胶组合物的树脂以及光刻胶组合物。 【解决手段】提供公式(I)所表示的化合物、由该化合物派生的树脂、含有该化合物的酸发生剂以及包含这些的光刻胶组合物。其中,Q1和Q2分别代表原子或全氟烷基;R1和R2分别代表氢原子、原子或全氟烷基;z是0到6的整数;X1是*−CO−O−、*−O−CO−等;A1是含有二价脂环烃基的碳氢基团;A2是二价的碳氢基团;R3和R4分别代表氢原子或饱和碳氢基团;R5是可以含有卤素原子的烷基等;R6是可以含有取代基的芳香族碳氢基团;R7是可以含有取代基的碳氢基团或基等。 【选择图】无
  • SALT, ACID GENERATOR, PHOTORESIST COMPOSITION, AND METHOD FOR PRODUCING PHOTORESIST PATTERN
    申请人:SUMITOMO CHEMICAL COMPANY, LIMITED
    公开号:US20160200702A1
    公开(公告)日:2016-07-14
    A salt represented by the formula (I): wherein R 1 represents a C1 to C12 alkyl group in which a methylene group can be replaced by an oxygen atom or a carbonyl group; Q 1 and Q 2 each independently represent a fluorine atom or a C1 to C6 perfluoroalkyl group; A 1 represents a lactone ring-containing group which has 4 to 24 carbon atoms; R 2 represents an acid-labile group; and “m” represents an integer of 0 to 3.
    由公式(I)表示的盐: 其中 R1 代表一个C1至C12的烷基,其中一个亚甲基基团可以被一个氧原子或一个羰基团所取代; Q1 和 Q2 各自独立地代表一个原子或一个C1至C6的全氟烷基团; A1 代表一个含有内酯环的基团,该基团有4到24个碳原子; R2 代表一个酸不稳定的基团;并且 “m”代表一个0到3之间的整数。
  • COMPOUND, RESIN, RESIST COMPOSITION AND METHOD FOR PRODUCING RESIST PATTERN
    申请人:SUMITOMO CHEMICAL COMPANY, LIMITED
    公开号:US20160130210A1
    公开(公告)日:2016-05-12
    A compound represented by formula (I), a resin including a structural unit derived from the compound and a resist composition including the resin: wherein R 1 represents a hydrogen atom, a halogen atom or a C 1 to C 6 alkyl group in which a hydrogen atom may be replaced by a halogen atom, R 2 represents a C 1 to C 6 perfluoroalkyl group or *—CHR f1 R f2 , * represents a binding site to a carbonyl group, R f1 and R f2 each independently represent a C 1 to C 4 perfluoroalkyl group or R f1 and R f2 may be bonded together with a carbon atom bonded thereto to form a ring, A 1 represents a single bond, a C 1 to C 6 alkanediyl group or **-A 3 -X 1 -(A 4 -X 2 ) a -(A 5 ) b -, ** represents a binding site to an oxygen atom, A 2 , A 3 , A 4 and A 5 each independently represent a C 1 to C 6 alkanediyl group, X 1 and X 2 each independently represent —O—, —CO—O— or —O—CO—, a and b each represent 0 or 1, and W 1 represents a C 5 to C 18 divalent alicyclic hydrocarbon group.
    化合物的化学式为(I),包括从该化合物衍生的结构单元的树脂和包括该树脂的抗蚀组合物: 其中R 1 代表氢原子、卤素原子或C 1 到C 6 烷基基团,其中氢原子可以被卤素原子取代,R 2 代表C 1 到C 6 全氟烷基基团或*—CHR f1 R f2 ,*代表与羰基结合位点,R f1 和R f2 各自独立代表C 1 到C 4 全氟烷基基团或R f1 和R f2 可以与结合在一起的碳原子形成环,A 1 代表单键,C 1 到C 6 烷二基基团或**-A 3 -X 1 -(A 4 -X 2 ) a -(A 5 ) b -,**代表与氧原子结合位点,A 2 、A 3 、A 4 和A 5 各自独立代表C 1 到C 6 烷二基基团,X 1 和X 2 各自独立代表—O—、—CO—O—或—O—CO—,a和b各自代表0或1,W 1 代表C 5 到C 18 的二价脂环烃基团。
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