【課題】良好なパターン倒れ耐性のレジストパターンを製造可能なカルボン酸塩の提供。【解決手段】式(I)で表されるカルボン酸塩。[式中、R1a及びR2aは、H又はFを有してもよい炭化水素基、又は、R1aとR2aとが互いに結合し、F又はアルキル基を有してもよい環;R3aはH、又はR1aとR2aとR3aとが結合し、F又はアルキル基を有してもよい環;R4及びR5は、ハロゲン原子、フッ化アルキル基、アルキル基等;L11はアルカンジイル基;m4は0〜4、m5は0〜5の整数;X0は、置換基を有してもよい炭化水素基。]【選択図】なし
提供具有良好倒塌抗性的
碳酸盐模式的制造方法。采用由式(I)表示的
碳酸盐。【式中,R1a和R2a可以是具有氢或
氟的烃基,或者R1a和R2a相互连接形成的环,该环可以具有
氟或烷基;R3a是氢,或者R1a和R2a和R3a相互连接形成的环,该环可以具有
氟或烷基;R4和R5可以是卤素原子,
氟化烷基,烷基等;L11是烷基二基;m4为0-4,m5为0-5的整数;X0是可以具有取代基的烃基。】【选择图】无