【課題】良好なCD均一性(CDU)を有するレジストパターンを製造できる塩、酸発生剤及び該酸発生剤を含有するレジスト組成物を提供することを目的とする。【解決手段】式(I)で表される塩及びこれを含むレジスト組成物。[式(I)中、Q1及びQ2は、それぞれ独立にフッ素原子等を表す。R1及びR2は、それぞれ独立に水素原子等を表す。zは、0〜6のいずれかの整数を表し、zが2以上のとき、複数のR1及びR2は互いに同一であっても異なってもよい。X1及びX2は、それぞれ独立に、*−CO−O−等を表す。L1は、単結合又は置換基を有してもよい炭素数1〜28の炭化水素基等を表す。A1は、置換基を有してもよい炭素数3〜36のラクトン環を表す。L2は、単結合又は炭素数1〜6のアルカンジイル基を表す。R3は、ヨウ素原子を有する炭素数1〜18の炭化水素基等を表す。Z+は、有機カチオンを表す。]【選択図】なし
提供旨在制造具有良好CD均一性(CDU)的光阻图案的盐类、酸发生剂以及含有该酸发生剂的光阻组合物。解决方案是由式(I)表示的盐及其所包含的光阻组合物。【在式(I)中,Q1和Q2分别独立表示
氟原子等。R1和R2分别独立表示氢原子等。z表示0〜6中的任何整数,当z大于等于2时,多个R1和R2可以相同也可以不同。X1和X2分别独立表示*−CO−O−等。L1表示具有单键或取代基的碳数为1〜28的烃基等。A1表示具有取代基的碳数为3〜36的内酯环。
L2表示单键或碳数为1〜6的烷基基团。R3表示具有
碘原子的碳数为1〜18的烃基等。Z+表示有机阳离子。】【选择图】无