triphenylsulfonium 2-(4-chlorobutyryloxy)-1,1-difluoroethanesulfonate | 1193511-54-4

• 分子结构分类: 有机化合物 - 脂质和类脂质分子 - 脂肪酰基
• 英文名称: triphenylsulfonium 2-(4-chlorobutyryloxy)-1,1-difluoroethanesulfonate
• 英文别名: 2-(4-Chlorobutanoyloxy)-1,1-difluoroethanesulfonate;triphenylsulfanium
• CAS: 1193511-54-4
• 化学式: C₆H₈ClF₂O₅S*C₁₈H₁₅S
• 分子量: 529.025
• InChiKey: DZIIPLFINJMVMN-UHFFFAOYSA-M

计算性质

• 辛醇/水分配系数(LogP)：
  5.47
• 重原子数：
  34
• 可旋转键数：
  9
• 环数：
  3.0
• sp3杂化的碳原子比例：
  0.21
• 拓扑面积：
  92.9
• 氢给体数：
  0
• 氢受体数：
  7

文献信息

• PHOTOACID GENERATOR, RESIST COMPOSITION, AND PATTERNING PROCESS
  申请人：Ohashi Masaki

  公开号：US20110003247A1

  公开（公告）日：2011-01-06

  The photoacid generator produces a sulfonic acid which has a bulky cyclic structure in the sulfonate moiety and a straight-chain hydrocarbon group and thus shows a controlled acid diffusion behavior and an adequate mobility. The PAG is fully compatible with a resin to form a resist composition which performs well during the device fabrication process and solves the problems of resolution, LWR, and exposure latitude.

  照片酸发生剂会产生一种含有笨重环状结构的磺酸基团和直链碳氢基团的磺酸，因此表现出受控的酸扩散行为和适度的活性。该PAG与树脂完全兼容，形成一个抗蚀剂组合物，在器件制造过程中表现良好，并解决了分辨率、LWR和曝光容限等问题。
• US8609889B2
  申请人：——

  公开号：US8609889B2

  公开（公告）日：2013-12-17