【課題】良好なCD均一性(CDU)でレジストパターンを製造できる塩及び該塩を含有するレジスト組成物を提供することを目的とする。【解決手段】式(aa)で表される基を有する塩。 [式(aa)中、 Xa及びXbは、それぞれ独立に、酸素原子又は硫黄原子を表す。 環Wは、エステル結合又はチオエステル結合を環の構成に有する炭素数3〜36の複素環を表し、該複素環に含まれる−CH2−は、−O−、−S−、−CO−又は−SO2−で置換されていてもよく、該複素環に含まれる水素原子の少なくとも一つは、塩基解離性基で置換される。 *は、結合手を表す。]【選択図】なし
这是一段关于含有盐的允许制造具有良好CD均一性(CDU)的感光胶组合物的专利说明。盐具有具有式(aa)所示基团。在式(aa)中,Xa和Xb分别独立表示氧原子或
硫原子。环W表示具有酯键或
硫酯键的含有3到36个碳原子的复杂环,并且该复杂环中的-
CH2-可以被-O-、-S-、-CO-或-SO2-取代,该复杂环中至少一个氢原子被置换为碱性离解基团。*表示连接手段。