diphenyliodonium 2-hydroxy-1,1-difluoroethanesulfonate | 1415978-28-7

• 分子结构分类: 有机化合物 - 苯类化合物 - 苯和取代衍生物
• 英文名称: diphenyliodonium 2-hydroxy-1,1-difluoroethanesulfonate
• 英文别名: 1,1-difluoro-2-hydroxyethanesulfonate;diphenyliodanium
• CAS: 1415978-28-7
• 化学式: C₂H₃F₂O₄S*C₁₂H₁₀I
• 分子量: 442.222
• InChiKey: BZZSCGHSFYYOOD-UHFFFAOYSA-M

计算性质

• 辛醇/水分配系数(LogP)：
  -1.07
• 重原子数：
  22
• 可旋转键数：
  3
• 环数：
  2.0
• sp3杂化的碳原子比例：
  0.14
• 拓扑面积：
  85.8
• 氢给体数：
  1
• 氢受体数：
  6

反应信息

• 作为反应物：
  描述：

  甲基丙烯酸异氰基乙酯 、 2,2'-亚甲基双-(4-甲基-6-叔丁基苯酚) 、 diphenyliodonium 2-hydroxy-1,1-difluoroethanesulfonate 在 N,N-dimethylamino-pyridine 作用下， 以 氯仿 、 水 、 乙腈 为溶剂， 生成 diphenyliodonium 2-[(2-methacryloyloxy)ethylcarbamoyloxy]-1,1-difluoroethanesulfonate
  参考文献：
  名称：

  Fluorine-Containing Sulfonate Resin, Resist Composition and Pattern Formation Method

  摘要：

  根据本发明，磺酸盐树脂具有以下通用公式（3）的重复单元：其中X分别表示氢原子或氟原子；n表示1至10的整数；R表示氢原子、卤原子或C1-C3烷基或含氟烷基团；J表示二价连接基团；M+表示一价阳离子。这种磺酸盐树脂在侧链中含有磺酸盐鉮盐，磺酸盐鉮盐的阴离子部分固定在磺酸盐树脂上，因此作为具有良好抗性特性（如DOF、LER、灵敏度和分辨率）的抗性树脂。

  公开号：

  US20120322006A1
• 作为产物：
  描述：

  diphenyliodonium 2-pivaloyloxy-1,1-difluoroethanesulfonate 在 盐酸 、 sodium hydroxide 作用下， 以 甲醇 、 氯仿 为溶剂， 以97%的产率得到diphenyliodonium 2-hydroxy-1,1-difluoroethanesulfonate
  参考文献：
  名称：

  Fluorine-Containing Sulfonate Resin, Resist Composition and Pattern Formation Method

  摘要：

  根据本发明，磺酸盐树脂具有以下通用公式（3）的重复单元：其中X分别表示氢原子或氟原子；n表示1至10的整数；R表示氢原子、卤原子或C1-C3烷基或含氟烷基团；J表示二价连接基团；M+表示一价阳离子。这种磺酸盐树脂在侧链中含有磺酸盐鉮盐，磺酸盐鉮盐的阴离子部分固定在磺酸盐树脂上，因此作为具有良好抗性特性（如DOF、LER、灵敏度和分辨率）的抗性树脂。

  公开号：

  US20120322006A1

文献信息

• Fluorine-Containing Sulfonate Resin, Fluorine-Containing N-Sulfonyloxyimide Resin, Resist Composition and Pattern Formation Method
  申请人：KATO Misugi

  公开号：US20120328985A1

  公开（公告）日：2012-12-27

  According to the present invention, there are provided a fluorine-containing sulfonate salt resin or fluorine-containing sulfonate ester resin having a structure of the following general formula (A) and a fluorine-containing N-sulfonyloxyimide resin having a repeating unit of the general formula (17). It is possible obtain a resist composition using the above resin such that the resist composition can attain high resolution, wide DOF, small LER and high sensitivity and form a good pattern shape.

  根据本发明，提供了具有以下通用式（A）结构的含氟磺酸盐树脂或含氟磺酸酯树脂以及具有通用式（17）重复单元的含氟N-磺酰氧亚胺树脂。可以使用上述树脂制备抗蚀剂组合物，使抗蚀剂组合物能够达到高分辨率、宽DOF、小LER和高灵敏度，并形成良好的图案形状。
• Fluorine-containing sulfonate resin, fluorine-containing N-sulfonyloxyimide resin, resist composition and pattern formation method
  申请人：Kato Misugi

  公开号：US09221928B2

  公开（公告）日：2015-12-29

  A fluorine-containing sulfonate salt resin or fluorine-containing sulfonate ester resin having a structure of the following general formula (A) and a fluorine-containing N-sulfonyloxyimide resin having a repeating unit of the general formula (17). And a resist composition using the above resin such that the resist composition can attain high resolution, wide DOF, small LER and high sensitivity and form a good pattern shape.

  一种含氟磺酸盐树脂或含氟磺酸酯树脂，其具有以下通式（A）的结构和含有通式（17）的重复单元的含氟N-磺酰氧咪唑树脂。使用上述树脂的光阻组合物，以使光阻组合物能够达到高分辨率、宽深度焦点、小LER和高灵敏度，并形成良好的图案形状。