申请人:President and Fellows of Harvard College
                            
                            
                                公开号:EP2857549A2
                            
                            
                                公开(公告)日:2015-04-08
                            
                            
The application discloses CVD of thin films employing amidinate complexes of the metals lithium, sodium, potassium, beryllium, calcium, strontium, barium, scandium, yttrium, lanthanum and the other lanthanide metals, titanium, zirconium, hafnium, vanadium, niobium, tantalum, molybdenum, tungsten, manganese, rhenium, iron, ruthenium, cobalt, rhodium, nickel, palladium, silver, Zinc, cadmium, tin, lead, antimony and bismuth as precursor. A novel cobalt precursor is also disclosed.
                            该申请公开了采用
锂、
钠、
钾、
铍、
钙、
锶、
钡、
钪、
钇、
镧和其他
镧系
金属的脒基络合物的 CVD 薄膜、
钛、
锆、
铪、
钒、
铌、
钽、
钼、
钨、
锰、
铼、
铁、
钌、
钴、
铑、
镍、
钯、
银、
锌、
镉、
锡、
铅、
锑和
铋作为前体。此外,还公开了一种新型
钴前体。