4-(2-methacryloyloxyethoxy)phenyldiphenylsulfonium 1,1,3,3,3-pentafluoro-2-(methacryloyloxy)propane-1-sulfonate | 1322797-97-6

• 分子结构分类: 有机化合物 - 苯类化合物 - 苯酚醚
• 英文名称: 4-(2-methacryloyloxyethoxy)phenyldiphenylsulfonium 1,1,3,3,3-pentafluoro-2-(methacryloyloxy)propane-1-sulfonate
• 英文别名: [4-[2-(2-Methylprop-2-enoyloxy)ethoxy]phenyl]-diphenylsulfanium;1,1,3,3,3-pentafluoro-2-(2-methylprop-2-enoyloxy)propane-1-sulfonate；[4-[2-(2-methylprop-2-enoyloxy)ethoxy]phenyl]-diphenylsulfanium;1,1,3,3,3-pentafluoro-2-(2-methylprop-2-enoyloxy)propane-1-sulfonate
• CAS: 1322797-97-6
• 化学式: C₇H₆F₅O₅S*C₂₄H₂₃O₃S
• 分子量: 688.69
• InChiKey: KKZHGQQBNFHTNF-UHFFFAOYSA-M

计算性质

• 辛醇/水分配系数(LogP)：
  6.45
• 重原子数：
  46
• 可旋转键数：
  13
• 环数：
  3.0
• sp3杂化的碳原子比例：
  0.23
• 拓扑面积：
  128
• 氢给体数：
  0
• 氢受体数：
  13

反应信息

• 作为产物：
  描述：

  triethylammonium 1,1,3,3,3-pentafluoro-2-methacryloyloxypropane-1-sulfonate 生成 4-(2-methacryloyloxyethoxy)phenyldiphenylsulfonium 1,1,3,3,3-pentafluoro-2-(methacryloyloxy)propane-1-sulfonate
  参考文献：
  名称：

  NOVEL SULFONIUM SALT, POLYMER, METHOD FOR PRODUCING THE POLYMER, RESIST COMPOSITION AND PATTERNING PROCESS

  摘要：

  本发明公开了一种由下列通式（1）表示的磺鎵盐。在该式中，X和Y分别表示具有可聚合官能团的基团；Z表示具有1至33个碳原子的二价碳氢基团，可选含有杂原子；R1表示具有1至36个碳原子的二价碳氢基团，可选含有杂原子；R2和R3分别表示具有1至30个碳原子的一价碳氢基团，可选含有杂原子，或者R2和R3可以与该式中的硫原子一起形成环。可以提供一种可用作抗蚀剂组成物的磺鎵盐，该组成物在使用高能束如ArF准分子激光、EUV光和电子束作为光源的光刻工艺中提供高分辨率和优异的LER，以及从该磺鎵盐获得的聚合物、含有该聚合物的抗蚀剂组成物和使用该抗蚀剂组成物的图案化工艺。

  公开号：

  US20110189607A1