Tris(dimethylamino)silane | 15112-89-7

• 物质功能分类: 有机原料 - 氨基化合物 - 无环单胺、多胺及其衍生物和盐
• 分子结构分类: 有机化合物 - 有机盐 - 有机金属盐
• 英文名称: Tris(dimethylamino)silane
• CAS: 15112-89-7
• 化学式: C6H18N3Si
• 分子量: 160.31
• InChiKey: GIRKRMUMWJFNRI-UHFFFAOYSA-N

物化性质

• 熔点：
  <0°C
• 沸点：
  145 °C
• 密度：
  0,838 g/cm3
• 闪点：
  25°C

计算性质

• 辛醇/水分配系数(LogP)：
  -0.34
• 重原子数：
  10
• 可旋转键数：
  3
• 环数：
  0.0
• sp3杂化的碳原子比例：
  1.0
• 拓扑面积：
  9.7
• 氢给体数：
  0
• 氢受体数：
  3

安全信息

• TSCA：
  Yes
• 危险品标志：
  C,F
• 安全说明：
  S16,S26,S36/37/39,S43,S45
• 危险类别码：
  R10
• WGK Germany：
  3
• 危险品运输编号：
  UN 1993
• RTECS号：
  VV5800000
• 海关编码：
  2931900090

制备方法与用途

产品特性

相关研究表明，三(二甲胺基)硅烷作为前驱体源不仅具有较好的稳定性、较高的蒸汽压，还表现出相当高的反应性。因此，这种有机硅源已成为目前ALD方法沉积SiO2研究的热点。

制备方法

一种三（二甲胺基）硅烷的制备方法包括以下步骤：在惰性气氛保护下，于反应器中加入二甲胺和烃类溶剂；随后向体系中加入有机锂化合物，制得二甲胺的锂盐；接着向体系中加入三氯硅烷；反应结束后进行蒸馏，最终得到三（二甲胺基）硅烷。