将XeO₃固体溶解在过量的XeOF₄中可以生成XeO₂F₂,经分馏可获得较纯的XeO₂F₂。但该制备反应使用了爆炸性很强的XeO₃,有一定的危险,下面介绍的方法相对比较安全。
制法 二氧二氟化氙的合成反应方程式为: [ \text{N}_2\text{O}_5 + \text{XeOF}_4 \rightarrow 2\text{FNO}_2 + \text{XeO}_2\text{F}_2 ]
反应中生成的XeO₂F₂可以进一步与N₂O₅反应生成FNO₂和高爆炸性的XeO₃,因此反应中应使XeOF₄适当过量,并采取一定的安全防护措施。具体步骤如下: