[EN] PROCESS LIQUID COMPOSITION FOR PHOTOLITHOGRAPHY AND PATTERN FORMING METHOD USING SAME<br/>[FR] COMPOSITION LIQUIDE DE TRAITEMENT POUR PHOTOLITHOGRAPHIE ET PROCÉDÉ DE FORMATION DE MOTIF L'UTILISANT<br/>[KO] 포토 리소그래피용 공정액 조성물 및 이를 이용한 패턴 형성 방법
申请人:YOUNG CHANG CHEMICAL CO LTD
公开号:WO2021060672A1
公开(公告)日:2021-04-01
본원 발명은 포토레지스트 패턴 공정에 있어서 포토레지스트 표면의 물에 대한 접촉각이 75° 이상의 소수성을 가지는 포토레지스트 패턴의 리프팅 결함 개선용 공정액 조성물에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 불소계 계면활성제 0.00001 내지 0.1중량%; 트리올 유도체, 테트라올 유도체 또는 이들의 혼합물로 구성된 군에서 선택되는 물질 0.00001 내지 1.0중량%; 및 잔량의 물;로 이루어지고 표면장력 45mN/m 이하, 접촉각 65° 이하인 것을 특징으로 하는 포토레지스트 패턴의 리프팅 결함 개선용 공정액 조성물 및 이를 이용한 패턴의 형성방법에 관한 것이다.