申请人:FUJIFILM Corporation
公开号:EP1975712A2
公开(公告)日:2008-10-01
A positive resist composition, includes: (A) a resin that has a group having absorption at 248 nm at a main chain terminal of the resin (A), and a pattern forming method uses the composition.
一种正抗蚀剂组合物,包括(A) 在树脂 (A) 的主链末端具有在 248 纳米波长有吸收的基团的树脂,以及使用该组合物的图案形成方法。