[DE] DICARBONSÄUREN FÜR DIELEKTRIKA MIT SPERRWIRKUNG GEGEN KUPFERDIFFUSION [EN] DICARBOXYLIC ACIDS FOR DIELECTRICS WITH BARRIER EFFECT AGAINST COPPER DIFFUSION [FR] ACIDES DICARBOXYLIQUES DESTINES A DES DIELECTRIQUES PRESENTANT UNE FONCTION DE BARRIERE CONTRE LA DIFFUSION DU CUIVRE
[DE] DICARBONSÄUREN FÜR DIELEKTRIKA MIT SPERRWIRKUNG GEGEN KUPFERDIFFUSION<br/>[EN] DICARBOXYLIC ACIDS FOR DIELECTRICS WITH BARRIER EFFECT AGAINST COPPER DIFFUSION<br/>[FR] ACIDES DICARBOXYLIQUES DESTINES A DES DIELECTRIQUES PRESENTANT UNE FONCTION DE BARRIERE CONTRE LA DIFFUSION DU CUIVRE
申请人:INFINEON TECHNOLOGIES AG
公开号:WO2004002934A1
公开(公告)日:2004-01-08
Dicarbonsäuren für Dielektrika mit Sperrwirkung gegen Kupfer-diffusionDie Erfindung betrifft neue Dicarbonsäuren der Formel (I) wobei E und n die in Anspruch 1 angegebene Bedeutung aufwei-sen. Die Dicarbonsäuren eignen sich für die Herstellung hoch-temperaturstabiler Polymere, wie sie in der Mikroelektronik als Dielektrikum verwendet werden.