报道了一系列包含
甲脒配体 (RNCHNR) (R = 烷基)的密切相关的 Y( III ) 化合物的合成和表征,其范围是将它们用作氧化
钇原子层沉积 (ALD) 的预期前体。 Y 2 O 3 ) 薄膜。通过热分析和蒸气压测量研究侧链变化对所得复合物的热性质的影响并作为基准。密度泛函理论(DFT)的研究得到的理论见解对
水的化合物的反应性,这是针对作为共反应物为Y的沉积2 ö 3 经由下一步进行热 ALD。在分析的四种配合物中,三( N , N '-二叔丁基
甲脒)
钇( III ) [Y( t Bu 2 -famd) 3 ] 1被发现具有增强的热稳定性并被选择用于Y 2 O 3 ALD 工艺开发。获得了从 200°C 到 325°C 的广泛 ALD 窗口,产生了高成分质量的薄膜。此外,薄膜密度为 (4.95 ± 0.05) g cm -1接近体积值,多晶fcc Y 2 O 3 当在
金属绝缘体半导体