本发明公开了一种三
氟磺酰胺2‑氧杂二环[2.2.1]
庚烷类光刻胶
树脂单体及其制备方法,三
氟磺酰胺2‑氧杂二环[2.2.1]
庚烷类光刻胶
树脂单体,包括以下结构通式:其中,R1和R2分别包括C1~C12烷基、杂烷基或连接键;R3包括氢、卤素、C1~C12烷基或杂烷基,其制备方法,包括以下步骤:将三
氟磺酰类化合物加入到经处理或未处理的含有2‑氧杂二环[2.2.1]
庚烷醇结构的原料和碱混合液中,反应得到三
氟磺酰胺2‑氧杂二环[2.2.1]
庚烷醇类化合物;将三
氟磺酰胺2‑氧杂二环[2.2.1]
庚烷醇类化合物与
丙烯酸类化合物混合,经过酯化反应,纯化得到三
氟磺酰胺2‑氧杂二环[2.2.1]
庚烷类光刻胶
树脂单体。本发明合成的光刻胶
树脂单体具有抗溶胀、碱溶性和疏
水性,且制备方法简单方便。