3-Methoxy-3-methylbutyl 2-(trifluoromethyl)benzenesulfonate

• 分子结构分类: 有机化合物 - 苯类化合物 - 苯和取代衍生物
• 英文名称: 3-Methoxy-3-methylbutyl 2-(trifluoromethyl)benzenesulfonate
• 英文别名: (3-methoxy-3-methylbutyl) 2-(trifluoromethyl)benzenesulfonate
• 化学式: C₁₃H₁₇F₃O₄S
• 分子量: 326.337
• InChiKey: BYKDCIMAAZJPJD-UHFFFAOYSA-N

计算性质

• 辛醇/水分配系数(LogP)：
  2.9
• 重原子数：
  21
• 可旋转键数：
  6
• 环数：
  1.0
• sp3杂化的碳原子比例：
  0.54
• 拓扑面积：
  61
• 氢给体数：
  0
• 氢受体数：
  7

反应信息

• 作为反应物：
  描述：

  3-Methoxy-3-methylbutyl 2-(trifluoromethyl)benzenesulfonate 以 3-乙基苯酚 、 氘代苯 为溶剂， 生成 2-(trifluoromethyl)benzenesulfinic acid
  参考文献：
  名称：

  用于EUV光致抗蚀剂的酸放大器的催化和自催化机理

  摘要：

  合成并研究了十二种氟化酸放大器（AAs）用于暴露于13.5 nm极紫外（EUV）光的光刻胶中。酸增强剂是在酸的存在下分解以通过催化或自催化机理产生更多酸的化合物。这些AA由主体，触发器和酸前体组成。在C中的AA的溶液的热分解率6 d 6 /米，在100℃-ethylphenol（50/50重量％）C通过监测19 F NMR具有和不具有1.2当量。的2,4,6-三吨丁基吡啶。碱存在下的所有AA均根据一级动力学以速率常数k Base分解。速率常数，k在各种温度下，碱产生激活参数ΔH ‡，ΔS ‡和ΔG ‡。活化的焓，Δ ħ，‡，是在一个窄的范围内的16.6-19.1（千卡/摩尔），而激活的熵，Δ小号‡，范围从0到-12（cal /（mol K））。当允许酸在溶液中累积（在没有碱的情况下）时，具有三级引发剂（Body-3）的6个AA会自催化分解，但是具有二级引发剂（Body-2）的6个不受影响。尽管Body-2

  DOI：

  10.1021/cm101867g
• 作为产物：
  描述：

  3-甲氧基-3-甲基-1-丁醇 、 2-三氟甲基苯磺酰氯 在 三乙胺 作用下， 以 二氯甲烷 为溶剂， 反应 4.0h， 以81%的产率得到3-Methoxy-3-methylbutyl 2-(trifluoromethyl)benzenesulfonate
  参考文献：
  名称：

  用于EUV光致抗蚀剂的酸放大器的催化和自催化机理

  摘要：

  合成并研究了十二种氟化酸放大器（AAs）用于暴露于13.5 nm极紫外（EUV）光的光刻胶中。酸增强剂是在酸的存在下分解以通过催化或自催化机理产生更多酸的化合物。这些AA由主体，触发器和酸前体组成。在C中的AA的溶液的热分解率6 d 6 /米，在100℃-ethylphenol（50/50重量％）C通过监测19 F NMR具有和不具有1.2当量。的2,4,6-三吨丁基吡啶。碱存在下的所有AA均根据一级动力学以速率常数k Base分解。速率常数，k在各种温度下，碱产生激活参数ΔH ‡，ΔS ‡和ΔG ‡。活化的焓，Δ ħ，‡，是在一个窄的范围内的16.6-19.1（千卡/摩尔），而激活的熵，Δ小号‡，范围从0到-12（cal /（mol K））。当允许酸在溶液中累积（在没有碱的情况下）时，具有三级引发剂（Body-3）的6个AA会自催化分解，但是具有二级引发剂（Body-2）的6个不受影响。尽管Body-2

  DOI：

  10.1021/cm101867g

文献信息

• Acid amplifiers
  申请人：Brainard Robert L.

  公开号：US08501382B1

  公开（公告）日：2013-08-06

  There are disclosed sulfonic acid precursor compositions, as are methods of using these compositions in, for example, photolithography. Other embodiments are also disclosed.

  已披露磺酸前体组合物，以及在例如光刻中使用这些组合物的方法。还披露了其他实施方式。
• US8501382B1
  申请人：——

  公开号：US8501382B1

  公开（公告）日：2013-08-06
• Catalytic and Autocatalytic Mechanisms of Acid Amplifiers for Use in EUV Photoresists
  作者：Seth A. Kruger、Craig Higgins、Brian Cardineau、Todd R. Younkin、Robert L. Brainard

  DOI：10.1021/cm101867g

  日期：2010.10.12

  triggers (Body-3) decompose autocatalytically, but the six with secondary triggers (Body-2) are unaffected. Although Body-2 AAs do not decompose autocatalytically, nonaflate acid does catalyze their decomposition. Lithographic evaluation showed that some AAs are capable of simultaneously improving the resolution, line-edge-roughness, and sensitivity of a control EUV photoresist. This simultaneous improvement

  合成并研究了十二种氟化酸放大器（AAs）用于暴露于13.5 nm极紫外（EUV）光的光刻胶中。酸增强剂是在酸的存在下分解以通过催化或自催化机理产生更多酸的化合物。这些AA由主体，触发器和酸前体组成。在C中的AA的溶液的热分解率6 d 6 /米，在100℃-ethylphenol（50/50重量％）C通过监测19 F NMR具有和不具有1.2当量。的2,4,6-三吨丁基吡啶。碱存在下的所有AA均根据一级动力学以速率常数k Base分解。速率常数，k在各种温度下，碱产生激活参数ΔH ‡，ΔS ‡和ΔG ‡。活化的焓，Δ ħ，‡，是在一个窄的范围内的16.6-19.1（千卡/摩尔），而激活的熵，Δ小号‡，范围从0到-12（cal /（mol K））。当允许酸在溶液中累积（在没有碱的情况下）时，具有三级引发剂（Body-3）的6个AA会自催化分解，但是具有二级引发剂（Body-2）的6个不受影响。尽管Body-2