通常,通过将这些
配体的相应
锂盐与SiMe 3 Cl反应,合成了
硅化合物(IV),其中三甲基甲
硅烷基(–SiMe 3)的Si中心与2-烷基-
氨基吡啶配体连接。程序。它们的特征在于1 H NMR,13 C NMR,29 Si NMR,EI-MS和必要时的元素分析。其中,29 Si NMR与2- N,N的合成获得了双(三甲基甲
硅烷基)
氨基吡啶,以确认它们的配位结构。重要的是,首次讨论了对这些含有2-
氨基吡啶酸盐作为CVD前体的
硅化合物的评估。通过同时热分析(STA)评估热稳定性,运输行为和蒸气压。
化学气相沉积是在热壁CVD反应器系统中完成的,定性地证明了它们作为CVD前体的能力。