【課題】融点が低く液体の状態で輸送ができ、低温で分解させることができ、しかも蒸気圧が大きく気化させ易いコバルト化合物及びそれを用いた薄膜形成用原料を提供する。【解決手段】式(I)で表されるコバルト化合物。(R1〜R3は各々独立にC1〜5の直鎖又は分岐鎖のアルキル基)式(I)で表されるコバルト化合物を含有する薄膜形成用原料を気化させ、コバルトを含有する蒸気を得て、前記蒸気を基体と接触させ、式(I)で表わされるコバルト化合物を分解及び/又は化学反応させて前記基体上に薄膜を形成させる薄膜の製造方法。【選択図】なし
                            【问题】提供具有低熔点、可以在液体状态下进行输送、可以在低温下分解、且具有大蒸汽压易挥发的
钴化合物及其用于薄膜形成的原料。
【解决方案】
钴化合物,其由公式(I)表示。(其中R1至R3各自独立地表示直链或支链烷基,其碳数为1至5)将含有公式(I)表示的
钴化合物的薄膜形成用原料挥发,获得含有
钴的蒸汽,将该蒸汽与基体接触,通过分解和/或
化学反应公式(I)表示的
钴化合物,在基体上形成薄膜的制造方法。
【选定图】无