Electrochemical Society (ECS). The archival version of this work was published in Katamreddy, R., R. Inman, G. Jursich, A. Soulet, and C. Takoudis, 2006, ALD and characterization of aluminum oxide deposited on Si (100) using tris(diethylamino) aluminum and water vapor: Journal of the Electrochemical Society, v. 153, no. 10, p. C701-C706.
© The Electrochemical Society, Inc. 2006。保留所有权利。除美国版权法规定外,未经电
化学学会 (
ECS) 明确许可,不得复制、转售、分发或修改本作品。这项工作的档案版本发表在 Katamreddy, R.、R. Inman、G. Jursich、A. Soulet 和 C. Takoudis,2006 年,ALD 和使用三(二乙
氨基)沉积在 Si (100) 上的氧化铝的表征铝和
水蒸气:电
化学学会杂志,第 153 卷,编号。10,第。C701-C706。