申请人:E.I. DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY
公开号:WO1991015808A1
公开(公告)日:1991-10-17
(EN) Excellent resolution and sensitivity in the patterning of resists utilized in device and mask manufacture is obtained with a specific composition. In particular this composition involves polymers having recurring pendant acid labile $g(a)-alkoxyalkyle carboxylique acid ester and/or hydroxyaromatique ether moieties in the presence of a substance that is an acid generator upon exposure to actinic radiation.(FR) On obtient une résolution et une sensibilité excellentes dans la configuration de réserves utilisées dans la fabrication de dispositifs et de masques, à l'aide d'une composition spécifique. Cette composition met notamment en ÷uvre des polymères présentant des fractions d'esters $g(a)-alkoxyalkyle d'acide carboxylique et/ou d'éther hydroxyaromatique labiles d'acides pendants récurrents, en présence d'une substance constituant un générateur d'acide lors d'une exposition à un rayonnement actinique.