고감도이고, 폴리이미드 전구체의 종류를 막론하고 용해성 콘트라스트가 얻어지고, 결과적으로 충분한 프로세스 마진을 유지하면서 형상이 양호한 패턴을 얻을 수 있는 감광성 수지 조성물을 제공한다. 화학식 (I)로 표시되는 광 염기 발생제 및 폴리이미드 전구체를 함유하는 감광성 수지 조성물.(각 부호는 명세서 중에서 정의한 바와 같다.)
这段文本的中文翻译为:高感度且无论是哪种聚
酰亚胺前体,都能获得溶解性对比度,并最终提供具有良好形状的图案,同时保持足够的工艺余量的感光性
树脂组合物。该感光性
树脂组合物包括被表示为
化学式(I)的光碱生成剂和聚
酰亚胺前体。(符号如规范中所定义。)