申请人:OCG Microelectronic Materials Inc.
公开号:EP0568496A2
公开(公告)日:1993-11-03
Verbindungen der Formel(I)
worin R₁ für Wasserstoff, Methyl oder Halogen steht, n 2 oder 3 bedeutet und R für C₁-C₆-Alkyl, Benzyl, 2-Tetrahydrofuranyl, 2-Tetrahydropyranyl, C₁-C₆-Alkoxycarbonyl, Phenoxycarbonyl oder Benzyloxycarbonyl steht, oder, falls zwei der Substituenten OR in ortho-Stellung zueinander stehen, zwei Reste R zusammen eine Ethylengruppe, die gegebenenfalls durch bis zu vier C₁-C₆-Alkylgruppen substituiert ist, oder eine C₂-C₆-Alkylidengruppe bilden,
können, gegebenenfalls in Gegenwart von anderen ungesättigten Comonomeren, zu Polymeren mit einem Molekulargewicht Mw von 10³ bis 10⁶ polymerisiert werden, die sich zur Herstellung von Positiv-Photoresists mit hohem Auflösungsvermögen und sehr gutem Kontrast eignen.
式(I)化合物
其中 R₁ 是氢、甲基或卤素,n 是 2 或 3,R 是 C₁-C₆-烷基、苄基、2-四氢呋喃基、2-四氢吡喃基、C₁-C₆-烷氧基羰基、苯氧基羰基或苄氧基羰基,或如果两个取代基 OR 相互正交,则两个基 R 共同形成一个乙烯基,该乙烯基可选被最多四个 C₁-C₆-烷基或一个 C₂-C₆-亚烷基取代、
可聚合(可选择在其他不饱和共聚物存在的情况下),形成分子量 Mw 为 10³ 至 10⁶的聚合物,适用于生产具有高分辨率和极好对比度的正性光刻胶。