phenylmethylaminosilane | 1351762-97-4

• 分子结构分类: 有机化合物 - 有机氮化合物
• 英文名称: phenylmethylaminosilane
• 英文别名: N-methyl-N-silylaniline
• CAS: 1351762-97-4
• 化学式: C₇H₁₁NSi
• 分子量: 137.257
• InChiKey: WBTCYNSAZKCTRX-UHFFFAOYSA-N

物化性质

• 沸点：
  181.4±23.0 °C(Predicted)

计算性质

• 辛醇/水分配系数(LogP)：
  0.4
• 重原子数：
  9
• 可旋转键数：
  1
• 环数：
  1.0
• sp3杂化的碳原子比例：
  0.14
• 拓扑面积：
  3.2
• 氢给体数：
  0
• 氢受体数：
  1

反应信息

• 作为产物：
  描述：

  N-甲基苯胺 在 氯硅烷 、 三乙胺 作用下， 反应 12.0h， 以49.6%的产率得到phenylmethylaminosilane
  参考文献：
  名称：

  전구체 화합물 및 이를 이용한 박막 증착 방법, 어모퍼스 실리콘막의 증착방법

  摘要：

  根据本发明的一个实施方案，前体化合物由式 1 表示，其中 R1 是卤化物基团、氢、烷基、环烷基、苯基或硅烷基中的任意一种，其中所述烷基的碳数为 1 至 4，所述环烷基的碳数为 4 至 7。<配方 1

  公开号：

  KR20150108664A

文献信息

• Organoaminosilane precursors and methods for depositing films comprising same
  申请人：Xiao Manchao

  公开号：US08912353B2

  公开（公告）日：2014-12-16

  Described herein are precursors and methods of forming dielectric films. In one aspect, there is provided a silicon precursor having the following formula I: wherein R1 is independently selected from hydrogen, a linear or branched C1 to C6 alkyl, a linear or branched C2 to C6 alkenyl, a linear or branched C2 to C6 alkynyl, a C1 to C6 alkoxy, a C1 to C6 dialkylamino and an electron withdrawing group and n is a number selected from 0, 1, 2, 3, 4, and 5; and R2 is independently selected from hydrogen, a linear or branched C1 to C6 alkyl, a linear or branched C2 to C6 alkenyl, a linear or branched C2 to C6 alkynyl, a C1 to C6 alkoxy, a C1 to C6 dialkylamino, a C6 to C10 aryl, a linear or branched C1 to C6 fluorinated alkyl, and a C4 to C10 cyclic alkyl group.

  本文描述了形成介电薄膜的前体和方法。在一个方面，提供了具有以下化学式I的硅前体：其中R1独立选择自氢、直链或支链的C1至C6烷基、直链或支链的C2至C6烯基、直链或支链的C2至C6炔基、C1至C6烷氧基、C1至C6二烷基胺和电子吸引基团，n是从0、1、2、3、4和5中选择的数字；而R2独立选择自氢、直链或支链的C1至C6烷基、直链或支链的C2至C6烯基、直链或支链的C2至C6炔基、C1至C6烷氧基、C1至C6二烷基胺、C6至C10芳基、直链或支链的C1至C6氟代烷基和C4至C10环烷基。