2,2,2-trifluoro-1-(4-methylthiophenyl)-ethanone oxime-O-methylsulfonate | 166831-69-2

• 分子结构分类: 有机化合物 - 有机硫化合物 - 硫醚类
• 英文名称: 2,2,2-trifluoro-1-(4-methylthiophenyl)-ethanone oxime-O-methylsulfonate
• 英文别名: (NE)-N-[2,2,2-trifluoro-1-(4-methylsulfanylphenyl)ethylidene]hydroxylamine
• CAS: 166831-69-2
• 化学式: C₉H₈F₃NOS
• 分子量: 235.23
• InChiKey: SBRHCHJCSMZWOZ-MDWZMJQESA-N

计算性质

• 辛醇/水分配系数(LogP)：
  3.5
• 重原子数：
  15
• 可旋转键数：
  2
• 环数：
  1.0
• sp3杂化的碳原子比例：
  0.22
• 拓扑面积：
  57.9
• 氢给体数：
  1
• 氢受体数：
  6

文献信息

• Spin-on-glass anti-reflective coatings for photolithography
  申请人：——

  公开号：US20030120018A1

  公开（公告）日：2003-06-26

  Anti-reflective coating materials for deep ultraviolet photolithography include one or more organic light-absorbing compounds incorporated into spin-on-glass materials. Suitable absorbing compounds are strongly absorbing over wavelength ranges around wavelengths such as 365 nm, 248 nm, and 193 nm that may be used in photolithography. A method of making absorbing spin-on-glass materials includes combining one or more organic absorbing compounds with alkoxysilane or halosilane reactants during synthesis of the spin-on-glass materials.

  用于深紫外光刻的抗反射涂层材料包括一种或多种有机光吸收化合物，这些化合物与旋涂玻璃材料结合在一起。合适的吸收化合物在波长范围内具有很强的吸收能力，例如可用于光刻技术的 365 纳米、248 纳米和 193 纳米。制造吸收性旋涂玻璃材料的方法包括在合成旋涂玻璃材料的过程中将一种或多种有机吸收化合物与烷氧基硅烷或卤代硅烷反应物结合。
• US6261738B1
  申请人：——

  公开号：US6261738B1

  公开（公告）日：2001-07-17
• US6512020B1
  申请人：——

  公开号：US6512020B1

  公开（公告）日：2003-01-28
• US6596445B1
  申请人：——

  公开号：US6596445B1

  公开（公告）日：2003-07-22