triphenylsulfonium 2-cyclohexanecarbonyloxyethanesulfonate | 1228823-35-5

• 分子结构分类: 有机化合物 - 苯类化合物 - 苯和取代衍生物
• 英文名称: triphenylsulfonium 2-cyclohexanecarbonyloxyethanesulfonate
• 英文别名: 2-(Cyclohexanecarbonyloxy)ethanesulfonate;triphenylsulfanium
• CAS: 1228823-35-5
• 化学式: C₉H₁₅O₅S*C₁₈H₁₅S
• 分子量: 498.664
• InChiKey: COVQMISARFFMCV-UHFFFAOYSA-M

计算性质

• 辛醇/水分配系数(LogP)：
  5.44
• 重原子数：
  34
• 可旋转键数：
  7
• 环数：
  4.0
• sp3杂化的碳原子比例：
  0.3
• 拓扑面积：
  92.9
• 氢给体数：
  0
• 氢受体数：
  5

文献信息

• SULFONIUM SALT, ACID GENERATOR, RESIST COMPOSITION, PHOTOMASK BLANK, AND PATTERNING PROCESS
  申请人：OHASHI Masaki

  公开号：US20100143830A1

  公开（公告）日：2010-06-10

  A sulfonium salt has formula (1) wherein R 1 is a monovalent hydrocarbon group except vinyl and isopropenyl, R 2 , R 3 , and R 4 are alkyl, alkenyl, oxoalkyl, aryl, aralkyl or aryloxoalkyl or may bond together to form a ring with the sulfur atom, and n is 1 to 3. A chemically amplified resist composition comprising the sulfonium salt is capable of forming a fine feature pattern of good profile after development due to high resolution, improved focal latitude, and minimized line width variation and profile degradation upon prolonged PED.

  一种硫铵盐的化学式为（1），其中R1是一种一价碳氢基团，但不包括乙烯基和异丙烯基，R2、R3和R4是烷基、烯基、氧代烷基、芳基、芳基烷基或芳基氧代烷基，或者它们可以相互连接形成与硫原子的环，并且n为1至3。包含该硫铵盐的化学增感抗剂组合物能够由于高分辨率、改善的焦距宽度、以及在长时间PED后最小化线宽变化和剖面降解而形成良好剖面的精细特征图案。
• US8394570B2
  申请人：——

  公开号：US8394570B2

  公开（公告）日：2013-03-12